总体规格特点:

  l 重量：30kg

  l 尺寸：450mm宽x400mm深x600mm高

  l 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。

载台（chuck）规格： 

  l 4英寸/6英寸载台，直径101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm

  l 载台采用真空吸附方式吸附样品，小吸附样品尺寸为5mmx5mm 

  l 载台X-Y轴微调行程101.6mmX101.6mm，微调分辨率1μm

  l 载台Z轴方向微调升降10mm，微调分辨率1μm

  l 载台水平角度调节范围0°～360°，旋转精度0.01°

  l 载台电学独立悬空，可作背电极使用。

针座台面规格:

  l U型抛光不锈钢台面

  l 针座台面平整度：±3μm

  l 可容纳针座数量：4~6个。

显微镜操纵规格:

       l 配有摆臂调节机构，可调节显微镜在X-Y任意方向的快速移动

  l 显微镜Z轴带有调焦旋钮，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm。

应用场景：

  l 直流IV/CV测试  

  l Pulse IV测试

  l 阻抗测试

  l 时域分析测试

  l 有源射频测试

  l 无源射频/微波测试。