总体规格特点:

  l 重量:  60kg  

  l 尺寸:  580mm宽x520mm深x700mm高 

  l 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。

针座台面规格:

  l U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质，平整度：±3μm

载台规格：

  l 6英寸真空吸附样品台，提供气源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附样品，小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm

l 样品台X-Y移动平台，行程150mmx150mm，微调精度为1μm，无回差线性调节

l 样品台Y方向快速推进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品  

l 样品台Z方向微调升降10mm，微调精度为1μm

l 样品台水平θ角度调节范围0°～360°，并微调±10°，微调精度0.01°

l 样品台电学独立悬空，可接地或加载背栅电压。

显微镜操控规格:

l 显微镜后侧有X-Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动范围50mmX50mm，精度1μm

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm

l 显微镜快速倾仰±30°功能，方便快速切换镜头，避免镜头切换时撞针。

应用场景：

  l 直流IV/CV测试  

  l Pulse IV测试

  l 阻抗测试

  l 时域分析测试

  l 有源射频测试

  l 无源射频/微波测试。