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A系列全自动探针台

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产品概要支持SiC、GaN、GaAs晶圆测试,大功率晶圆测试;更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试;可与仪器仪表系统进行集成;可升级高低温环境测试

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产品概要

支持SiC、GaN、GaAs晶圆测试,大功率晶圆测试; 更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试; 可与仪器仪表系统进行集成; 可升级高低温环境测试。

基本信息

产品型号

A12

工作环境

开放式

电力需求

220VAC±10V/50Hz/2.2KW

操控方式

全自动

产品尺寸

1660 x 1770 x 1015 mm 

1660 x 1700 x 1455 mm

设备重量

1700kg

应用方向

晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等。

技术特点

产品特点

  • 高测试精度与测试速度,大大提升产能效益
  • 全自动化系统运行,快速安全可靠测试
  • 支持单点测试和连续测试
  • 综合控制系统,快速接入仪器测试
  • CHUCK高效测试系统,运行速度超300mm/s
  • 丰富的软件自动化测试 ,机械精度精确校准
  • 可升级自动wafer厚度测量和ID读卡
  • 内部防震系统装置,运行更稳定


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