产品概要支持SiC、GaN、GaAs晶圆测试,大功率晶圆测试;更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试;可与仪器仪表系统进行集成;可升级高低温环境测试
产品概要
支持SiC、GaN、GaAs晶圆测试,大功率晶圆测试; 更换Chuck设计,可针对不同晶圆测试; 可与仪器仪表系统进行集成; 可升级高低温环境测试。
基本信息
产品型号 | A12 | 工作环境 | 开放式 |
电力需求 | 220VAC±10V/50Hz/2.2KW | 操控方式 | 全自动 |
产品尺寸 | 1660 x 1770 x 1015 mm 1660 x 1700 x 1455 mm | 设备重量 | 1700kg |
应用方向
晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等。
技术特点
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