总体规格特点:

  l 重量:  80kg @6inch台体，100kg @8inch台体，120kg @12inch台体

  l 尺寸:  580mm宽x520mm深x700mm高 @6inch台体，

760mm宽x670mm深x750mm高 @8inch台体，

930mm宽x900mm深x800mm高 @12inch台体

  l 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。

针座台面规格:

  l U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质，平整度：±3μm

l 平台台面快速线性升降，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三档扣调节，在探针点测时可以快速抬针，方便对待测点的重选择

l 平台台面微调线性升降，微调升降行程20mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测时方便对待测点的复位，或者点测相同排列的待测点时，实现多根探针或光纤的高效重复测量。

载台规格：（即chuck）

  l 6英寸/8英寸/12英寸载台，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附样品，小吸附尺寸为

0.5mmx0.5mm，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸

l 载台X-Y移动平台，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保证待测样品的每一点都能够点测到，同时配备微调旋钮，微调精度为1μm，无回差线性调节

l 载台X-Y移动平台可升级气浮快速移动，移动范围不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，方便快速定位测试点

l 载台Y方向快速抽进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品  

l 载台水平θ角度调节范围0°～360°，并微调±10°，微调精度0.01°

l 载台电学独立悬空，可接地或加载背栅电压。

显微镜操控规格:

l 显微镜后侧有X-Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动范围50mmX50mm，精度1μm

l 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm

l 显微镜快速倾仰±30°功能，方便快速切换多组长焦物镜，避免镜头切换时撞针

l 显微镜可升级Z轴方向气动快速升降功能，方便切换多组长焦物镜和快速重复聚焦。