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样品变温台特点使用直流电，噪声低配备隔离套装，实现P电信号测试精度隔绝水循环对chuck底座进行过温保护易于拆装，可以在绝大多数探针台上加装规格真空吸附载物台的尺寸4,6,8,英寸直径
| 样品变温台 | ||
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特点 | ||
| 使用直流电，噪声低 | ||
| 配备隔离套装，实现P电信号测试精度 | ||
| 隔绝水循环对chuck底座进行过温保护 | ||
| 易于拆装，可以在绝大多数探针台上加装 | ||
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| 规格 | ||
| 真空吸附载物台的尺寸 | 4, 6, 8,英寸直径；厚度为1英寸 | |
| Chuck 平整度 | ±10 微米 | |
| 控温范围 | 常温到300摄氏度（或更高温度） | |
| 控温精度 | 0.1℃ | |
| 温度稳定度 | ±1% | |
| 从25 ℃开始升温时间 | 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ | |
| (4 英寸chuck，单位： 分钟 ) | 1:00 2:30 3:00 4:30 | |
| 电源 | 直流 | |
| 材质 | 不锈钢 | |
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| 需求 | ||
| 供电 | 220V AC, 60Hz | |
| 电力消耗 | 4英寸chuck 700W | |
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| 6英寸chuck 1000W | |
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| 8英寸chuck 1500 W | |
| 真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
| 循环水 | 20 Liter/Min | |
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| 尺寸 | ||
| 控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高 | ||
| 重约20 Kg | ||
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| 附件 | ||
| 高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ | ||
| 低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃ | ||
| 用于其他品牌探针台的安装转接口 | ||
| 方形chuck | ||
| 加速升温配件 | ||
| 水冷箱 | ||
| 更低电流测试用的屏蔽装置 | ||
| 真空腔体 | ||
| 测试屏蔽腔体 | ||
| 真空吸附的chuck | ||
| 镀金的chuck | ||
| 镀镍的chuck | ||
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