高精度可编程真空压力控制器（压强控制器和温度控制器）

High Precision Programmable Vacuum Pressure Controller & Temperature Controller

（4）控制算法：PID控制和自整定（可存储和调用20组PID参数）。
（5）控制方式：定点和程序控制，可支持9条控制曲线，每条可设定24段程序曲线。
（6）控制周期：50ms。
（7）通讯方式：RS 485和以太网通讯。
（8）供电电源：交流（86-260V）或直流24V。
（9）外形尺寸： 96×96×136.5mm （开孔尺寸92×92mm）。

三、特点和优势

（1）高精度24位数据采集，使得此系列控制器具有高精度的控制能力。

（2）具有各种不同类型信号的输入功能，可覆盖多种测量传感器，既可连接真空计用来控制真空压力和压强，也可用来控制其它变量，如连接流量计用来控制流量、连接温度传感器用来进行温度控制等。

（3）可连接和控制几乎所有的电动调节阀和数字控制阀门，也可连接控制各种加热装置，结合传感器由此组成可靠的闭环控制系统。

（4）控制器体积小巧和使用灵活，即可独立做为面板型控制器使用，也可集成在测试系统整机中使用。

（5）采用了标准的MODBUS通讯协议，便于控制器与上位机通讯和进行二次开发。

（6）具有正反向控制输出功能，可实现真空压力的两种控制模式，一种是可变气流量（上游控制）压强控制模式，另一种是可变通导（下游控制）流量调节模式。

（7）可连接两个传感器，并可进行自动切换，由此可实现扩展测量量程和传感器备份。

四、外形和开孔尺寸

五、典型应用

（1） 气压对材料热导率测试影响的试验研究

（2） 星际空间环境地面模拟——气氛、气压或真空度的精确模拟及控制

（3） 高纯度熔融石英圆筒等离子熔融工艺研究-真空度（压强）控制系统

（4） 真空度（气压）控制中的上游模式和下游模式的特点及其新技术

（5） 讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制

（6） 真空冷冻干燥过程中压力和真空度控制的操作实践

（7） 微波等离子体高温热处理工艺中真空压力的下游控制技术及其装置

（8） 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中真空压力控制装置的国产化替代

（9） 高精度压强（真空）和温度同时控制技术在光谱测量和光谱仪中的应用

（10）具有双传感器自动切换功能的双通道24位高精度PID控制器

（11）CVD和MPCVD法钻石生长过程中采用双通道PID控制器控制真空度（气压）和温度

（12）电动针阀在上游模式以及电动球阀在下游模式真空度（压强）控制中的考核试验