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序号项目真空扩机组技术参数机组所配各泵技术参数
主泵前级泵
01设备名称高真空机组油扩散泵旋片真空泵
02 型号JKT200KT-2002X-15
03极限压力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa
05功率4 Kw加热功率1.6-2Kw1.5Kw
06 机组抽速600 L/S2000 L/S（裸泵抽速）15 L/S
序号
项目
高真空机组技术参数
真空扩散泵
机组所配各泵技术参数
主泵
前级泵
01
设备名称
高真空机组
油扩散泵
旋片真空泵
02
型号
JKT200
KT-200
2X-15
03
极限压力
6.7×10-4 Pa
6.7×10-4 Pa
1 Pa
05
功率
4 Kw
加热功率1.6-2Kw
1.5Kw
06
机组抽速
600 L/S
2000 L/S（裸泵抽速）
15 L/S
07
启动真空
10 Pa
常压
08
预热时间
≤35min
09
高真空机组配置
名称
型号
数量
备注
油扩散泵
KT200
1台
旋片真空泵
2X-15
1台
冷阱
SD-200
1个
气动挡板阀
GDQ-S200
1个
高阀
气动挡板阀
GDQ-J50
1个
预抽阀
气动挡板阀
GDQ-J50
1个
前级阀电磁压差阀
DYC-Q50
1个连接管路、波纹管
1套
复合真空计
ZDF-5227
1台
电控柜
1台
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